受託成膜SPUTTERING
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受託成膜の流れ
まずは成膜したい材料とご希望の膜厚、用いる機材と寸法、数量をお知らせください。
この際可能な限りで実験の目的をお知らせください。
お客様のご要望をもとに、前処理条件、成膜条件等を決定いたします。
現在の成膜可能材料
Pt、Au、Ag、Cu、Ti、Cr、W､Ta、Al、Sn、Zn、Ni、Si、C、Mo、Fe、ITO、TiO2、Al2O3、SiO2
ご提供材料での成膜も承っております。
可能な基材
ガラス、金属、セラミック、Siウェハー、各種プラスチック材料
特に各種プラスチック材料 への成膜を得意としております。
最大成膜エリア
400mmΦ or 315mm□
ご要望によりパターン成膜も可能です
電話・メール等にて直接ご要望をお聞かせください。
サンプルサイズ、膜厚、数量のご記載があると見積がスムーズです。
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